電場-構造連成解析を応用した電気粘着ピラーアレイの製造手法の開発

伊藤 かな; 石田 磨仁; 安斎 秀伸; 桜井 宏治; 柿沼 康弘

doi:10.11522/pscjspe.2017A.0_455

2017年度精密工学会秋季大会

セッションID: G15

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2017A.0_455

会議情報

主催: 公益社団法人精密工学会

会議名: 2017年度精密工学会秋季大会

開催地: 大阪大学

開催日: 2017/09/20 - 2017/09/22

電場-構造連成解析を応用した電気粘着ピラーアレイの製造手法の開発

*伊藤かな, 石田磨仁, 安斎秀伸, 桜井宏治, 柿沼康弘

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キーワード: マイクロピラー, 電気粘着

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抄録

機械部品や電気部品の微細化に伴い，それらを効率よくハンドリングする技術への要求が高まっている．電場で粘着力を制御できる電気粘着ゲルのマイクロピラーができれば，微細部品を固定し搬送するデバイスに応用できる可能性がある．そこで本研究では，電気粘着マイクロピラーアレイの製造手法の開発に取り組んだ．電場-構造連成解析により材料の挙動予測を行うとともに，粒子含有率の影響を実験的に調べた．

責任著者(Corresponding author)

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