電磁場シミュレーションを用いたマイクロ波水素プラズマの電子密度解析

抄録

新しいプラズマプロセスの開発には，プラズマの内部パラメータをモニターして制御することが極めて効果的である．しかし，大気圧プラズマについては内部パラメータの有効な測定法が確立されていないのが現状である．本研究では，挟ギャップマイクロ波プラズマ装置の電磁場シミュレーションを行い，水素プラズマ発生時のマッチング機構の状態から計算によってプラズマの複素比誘電率を決定し，プラズマインピーダンスや導電率，電子密度を解析する手法を開発した．