炭化水素系化学吸着単分子膜と四フッ化炭素プラズマを用いたフッ化炭素化学吸着単分子膜の作製

抄録

化学吸着炭化水素単分子膜をガラス基板上に作製した。次に、CF₄プラズマを用いて表面処理を行った。接地したアルミメッシュで試料を覆うことでフッ化炭素イオンを除去し、フッ化炭素ラジカルのみで表面処理する方法を用いた。炭化水素単分子膜の炭化水素基、または、水素が、フッ化炭素またはフッ化炭素ラジカルで置換されることを赤外線吸収スペクトル分析によって確認できた。また、水滴接触角が初期値より多少向上した。