減圧型プラズマ援用研磨によるダイヤモンドウエハの砥粒レス表面仕上げに関する研究（第1報） 研磨面の表面モフォロジーと結晶性の評価

江守 健; 大久保 雄司; 遠藤 勝義; 山田 英明; 茶谷原 昭義; 杢野 由明; 山村 和也

doi:10.11522/pscjspe.2017A.0_503

2017年度精密工学会秋季大会

セッションID: G68

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2017A.0_503

会議情報

主催: 公益社団法人精密工学会

会議名: 2017年度精密工学会秋季大会

開催地: 大阪大学

開催日: 2017/09/20 - 2017/09/22

減圧型プラズマ援用研磨によるダイヤモンドウエハの砥粒レス表面仕上げに関する研究（第1報）

研磨面の表面モフォロジーと結晶性の評価

*江守健, 大久保雄司, 遠藤勝義, 山田英明, 茶谷原昭義, 杢野由明, 山村和也

著者情報

キーワード: プラズマ, ダイヤモンド, 研磨, プラズマ援用研磨, 加工変質層, ダメージフリー

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抄録

我々はパワーデバイス用基板として有望な単結晶ダイヤモンドウエハの平坦化・平滑化手法としてプラズマ照射による表面改質と軟質砥粒による表面改質層の除去を組み合わせたプラズマ援用研磨法の適用を提案している．本報では，研磨後の単結晶ダイヤモンドウエハの表面を原子間力顕微鏡 (AFM) とラマン分光法を用いて評価し，プラズマ援用研磨により単結晶ダイヤモンド表面には加工変質層が形成されないことを確認した．

責任著者(Corresponding author)

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