1立方ミリメートルのステータを用いた小型超音波モータの開発（第6報）

抄録

1立方ミリメートルのステータを用いた超音波モータの開発を行っており，このサイズのモータとしては，最大級の10マイクロNm以上のトルクを達成している．モータは小さくなるにつれ性能が変化するというスケール効果があるが，どのような物理法則に則っているかは明らかでない．そこで，本研究では，マイクロ超音波モータをモデル化し，そのスケール則を明らかにし，試作したモータを用いた実験検証を試みる．