走査型ナノピペットプローブ顕微鏡を用いて局所照射した水蒸気添加の大気圧プラズマジェットによるポリマー表面の微細加工

抄録

プラズマは表面処理や，加工などに適用可能であり，工業や医療など様々な分野で応用されている．特に大気圧プラズマジェット（APPJ）は大気圧下で駆動可能なため近年注目を集めている．我々はサブミクロンの開口を持つガラス管（ナノピペット）をAPPJのノズルと走査型プローブ顕微鏡の探針の両方に用いた微細加工装置を開発している．本研究では水蒸気添加したHe-APPJを用いて表面微細加工の効率向上について取り組んだ結果にいて報告する．