多層膜結像ミラーを用いた高分解能X線結像光学系の開発

波多 健太郎; 松山 智至; 山田 純平; 佐野 泰久; 香村 芳樹; 矢橋 牧名; 石川 哲也; 山内 和人

doi:10.11522/pscjspe.2017A.0_815

2017年度精密工学会秋季大会

セッションID: M01

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2017A.0_815

会議情報

主催: 公益社団法人精密工学会

会議名: 2017年度精密工学会秋季大会

開催地: 大阪大学

開催日: 2017/09/20 - 2017/09/22

多層膜結像ミラーを用いた高分解能X線結像光学系の開発

*波多健太郎, 松山智至, 山田純平, 佐野泰久, 香村芳樹, 矢橋牧名, 石川哲也, 山内和人

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キーワード: X線ミラー, X線顕微鏡, 多層膜

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抄録

高分解能な結像型X線顕微鏡を開発するために，グレイディッド多層膜がコーティングされたAdvanced Kirkpatrick-Baez結像ミラー光学系の開発を進めている．本研究では，最初の一歩として，光線追跡シミュレーションによる収差の検討と，SPring-8にて1次元結像ミラーを用いた結像実験を行ったので，その詳細を報告する．

責任著者(Corresponding author)

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