小型かつ高拡大倍率が実現可能なX線結像光学系の開発（第3報） 凹・凸面鏡を用いた新規光学系の実証と一体型素子化の検討

山田 純平; 松山 智至; 波多 健太郎; 佐野 泰久; 香村 芳樹; 矢橋 牧名; 石川 哲也; 山内 和人

doi:10.11522/pscjspe.2017A.0_817

2017年度精密工学会秋季大会

セッションID: M02

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2017A.0_817

会議情報

主催: 公益社団法人精密工学会

会議名: 2017年度精密工学会秋季大会

開催地: 大阪大学

開催日: 2017/09/20 - 2017/09/22

小型かつ高拡大倍率が実現可能なX線結像光学系の開発（第3報）

凹・凸面鏡を用いた新規光学系の実証と一体型素子化の検討

*山田純平, 松山智至, 波多健太郎, 佐野泰久, 香村芳樹, 矢橋牧名, 石川哲也, 山内和人

著者情報

キーワード: X線ミラー, X線結像光学系, X線顕微鏡

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抄録

高分解能，色収差なし，小型，高拡大倍率といった優れた特性を有する結像型Ｘ線顕微鏡の構築を目指し，2枚の凹面鏡と2枚の凸面鏡で構成される新規なＸ結像光学系の提案と開発を行ってきた．本発表では，独自に作製した1次元Ｘ線結像ミラーを用いて行った実証実験の結果を示すと共に，安定性向上を目的として検討・開発した素子の一体型化技術について報告する．

責任著者(Corresponding author)

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