X線集光用超小型KBミラーの提案と作製プロセスの開発

抄録

本研究では、X線の極限集光を目的として、2枚の超小型ミラーによるKB型集光システムを提案する。その際、焦点距離とミラー全長を数mmと極端に短くすることで、アラインメント精度の許容値が大幅に緩和する。小型化に伴う高い加工分解能の実現のため、作製方法として微小スポット成膜法を提案し、装置を開発した。本発表では、超小型X線ミラーの特徴とその作製プロセスの現状について報告する。