圧電バイモルフミラーと機械曲げ機構を組み合わせたX線集光用システムの開発

後藤 拓実; 松山 智至; 林 宏樹; 園山 純生; 秋山 和輝; 中森 紘基; 佐野 泰久; 香村 芳樹; 矢橋 牧名; 石川 哲也; 山内 和人

doi:10.11522/pscjspe.2017A.0_821

2017年度精密工学会秋季大会

セッションID: M04

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2017A.0_821

会議情報

主催: 公益社団法人精密工学会

会議名: 2017年度精密工学会秋季大会

開催地: 大阪大学

開催日: 2017/09/20 - 2017/09/22

圧電バイモルフミラーと機械曲げ機構を組み合わせたX線集光用システムの開発

*後藤拓実, 松山智至, 林宏樹, 園山純生, 秋山和輝, 中森紘基, 佐野泰久, 香村芳樹, 矢橋牧名, 石川哲也, 山内和人

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キーワード: X線光学素子, X線ミラー, 機械曲げ機構, 圧電素子

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抄録

本発表では，圧電バイモルフミラーと弾性ヒンジを用いた機械曲げ機構を組み合わせた変形機構をもつX線集光用形状可変ミラーの開発を行った成果について述べる．本ミラーは，まず機械曲げ機構によって，ミクロンオーダーの形状変形を行う．その後，残った高周期の変形誤差を圧電素子により修正を行うことで，ナノメートル精度での形状創成が可能である．本ミラーを用いてX線の集光実験を行った結果，150 nmの集光径を得ることに成功した．

責任著者(Corresponding author)

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