透明セラミックスの固相拡散接合技術を用いた薄膜シンチレーターの開発及びこれを用いたX線イメージング

抄録

X線イメージング検出器の空間分解能は、放射光分野において測定限界・データ品質・装置の規模を決める重要なパラメーターである。本研究では、空間分解能向上のため、高い光学特性を持つ薄膜シンチレーターを開発した。界面で生じる光の拡散を抑えるために、透明セラミックスであるシンチレーターと基板を固相拡散接合で直接接合し、シンチレーター層を5 μmに薄化した。これを用い、400 nmの空間分解能を達成した。