精密工学会学術講演会講演論文集
2017年度精密工学会秋季大会
セッションID: M09
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放射光STMによるナノスケール元素分析
バリアハイト測定を応用した元素コントラスト評価
*坪井 健祥齋藤 彰疋田 侑也増百 寛之玉作 賢治石川 哲也桑原 裕司
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キーワード: 放射光
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抄録
我々が開発した放射光STMは、固体表面への放射光照射により、原子分解能での元素分析を可能にする顕微鏡である。しかしその測定法ゆえ、放出電子成分が検出信号のノイズとなる問題を孕んできた。そこでその排除及び、我々の狙いである吸収端の選択励起に伴う仕事関数変化の抽出を目的として、バリアハイト測定を応用した評価を新たに導入し、Au基板上のCoナノアイランドK吸収端上下で有意な仕事関数変化を得た。
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© 2017 公益社団法人 精密工学会
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