精密工学会学術講演会講演論文集
2017年度精密工学会秋季大会
セッションID: M13
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多層膜KBミラーを用いたX線自由電子レーザーナノ集光システムの開発
波面計測法とビームキャラクタリゼーション法の検討
*井上 陽登松山 智至川合 蕉吾湯本 博勝犬伏 雄一小山 貴久登野 健介大橋 治彦大坂 泰斗矢橋 牧名石川 哲也山内 和人
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抄録
X線自由電子レーザーは超高ピーク強度を有しているが,さらに高光子密度を実現するには集光技術が必要不可欠である.X線集光素子が作る集光波面を正確に計測し,適切に改善できれば理想的な集光が実現できる.我々は,グレーチング干渉計を用いた精密波面計測法の検討を行った.また,形状修正したミラーによる集光ビームのプロファイリング法として,小角散乱や過飽和吸収を利用した手法を検討した.
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© 2017 公益社団法人 精密工学会
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