精密工学会学術講演会講演論文集
2017年度精密工学会秋季大会
セッションID: M08
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マイクロフォーカスX線源と振幅格子を用いた多波長X線位相イメージング
SOIピクセル検出器による高度化
*細野 凌塚本 大裕川端 智樹林田 清工藤 統吾尾崎 恭介初井 宇記寺西 信一細井 卓治渡部 平司志村 考功
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抄録
マイクロフォーカスX線装置は非破壊かつ高空間分解能な撮影が可能であり、また高感度なX線位相イメージングの適用が検討されている。代表的なX線Talbot干渉計では、X線の干渉の利用により単波長撮影しか行えない。そこで我々は干渉を利用しない振幅格子を用いた手法において、エネルギー分解能を有するSOIピクセル検出器を組み合わせることで、X線位相イメージングの多波長化や高空間分解能化について検証したので報告する。
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© 2017 公益社団法人 精密工学会
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