大気圧プラズマを用いた狭ギャップチャネルカット結晶X線モノクロメータの無歪み内壁エッチング法の開発

森岡 祐貴; 平野 嵩; 大坂 泰斗; 佐野 泰久; 松山 智至; 片山 哲夫; 矢橋 牧名; 山内 和人

doi:10.11522/pscjspe.2017A.0_847

2017年度精密工学会秋季大会

セッションID: M23

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2017A.0_847

会議情報

主催: 公益社団法人精密工学会

会議名: 2017年度精密工学会秋季大会

開催地: 大阪大学

開催日: 2017/09/20 - 2017/09/22

大気圧プラズマを用いた狭ギャップチャネルカット結晶X線モノクロメータの無歪み内壁エッチング法の開発

*森岡祐貴, 平野嵩, 大坂泰斗, 佐野泰久, 松山智至, 片山哲夫, 矢橋牧名, 山内和人

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キーワード: 大気圧プラズマ, ダメージフリーエッチング, 結晶光学素子, X線モノクロメータ, 硬X線自由電子レーザー

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抄録

チャネルカット結晶は高輝度硬X線光源用モノクロメータとして有用であるが，回折面である結晶内壁に対する無歪み処理は既存技術では困難である．本研究では，大気圧プラズマを用いた無歪み内壁エッチングの適用を検討し，狭い溝構造へとアクセス可能な粗加工用・精密加工用の2種類の電極を作製した．実験条件及び加工手法の最適化を行い，いずれの電極においても約10 μmの加工量に対して約0.5 nm rmsの平滑面の獲得に成功した．

責任著者(Corresponding author)

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