高精度非球面ミラー用プローブ走査式表面形状計測装置 計測再現性の評価およびシステムエラーの校正法の検討

湯本 博勝; 小山 貴久; 大橋 治彦

doi:10.11522/pscjspe.2017A.0_845

2017年度精密工学会秋季大会

セッションID: M21

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2017A.0_845

会議情報

主催: 公益社団法人精密工学会

会議名: 2017年度精密工学会秋季大会

開催地: 大阪大学

開催日: 2017/09/20 - 2017/09/22

高精度非球面ミラー用プローブ走査式表面形状計測装置

計測再現性の評価およびシステムエラーの校正法の検討

*湯本博勝, 小山貴久, 大橋治彦

著者情報

キーワード: 表面形状計測, 非球面, X線ミラー, X線光学素子, シンクロトロン放射光

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抄録

数メートル台の曲率半径や±5mrad以上の傾斜角分布をもつX線ナノ集光用の高精度非球面ミラーに対して1nmRMSの計測再現性を有する非接触プローブ走査型の形状計測装置の開発を目標とした．曲率半径7mの平凹シリンダミラーについて80mm長を0.1mm間隔で測定した結果，50回平均後，1.0nmRMSを下回る計測再現性を得た．傾斜角に応じて発生する高さシステムエラーについて校正法を検討した．

責任著者(Corresponding author)

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