三次元表面トポグラフィ計測のための光周波数コムファイバーレーザーの発振特性の調査

抄録

精密加工表面トポグラフィ計測に用いるレーザー装置を開発している．提案手法では，測定表面に照射したレーザー光の回折光強度分布を解析し表面トポグラフィを求める．本手法の課題として，測定可能範囲が光源の波長に依存するため，多数の波長を持つ光源が必要となる点が挙げられる．そこで本研究では，広帯域で細密な離散的周波数を持つ光周波数コムに着目し，光周波数コムファイバーレーザーを作製し発振特性を検証した．