デュアル光コム分光法を用いた分光エリプソメトリーの開発

抄録

本研究では，デュアルコム分光法を援用した新たな分光エリプソメトリーの開発を行った．デュアルコム分光法は，精密に周波数が定まった櫛の歯状の超離散的マルチスペクトル構造を持つ光コムの特徴を利用した分光法である．これにより，偏光や位相変調のための機械的走査を必要とせず，短い測定時間で広波長域を高い波長確度・分解能で計測可能な新たな分光エリプソメトリーを実現した．