2017年度精密工学会春季大会
セッションID: B21
会議情報
主催: 公益社団法人精密工学会
会議名: 2017年度精密工学会春季大会
開催日: 2017/03/13 - 2017/03/15
紫外YAGレーザーを用いたパルスレーザー堆積法による窒化金属薄膜の生成とその光学的評価
詳細
主催: 公益社団法人精密工学会
会議名: 2017年度精密工学会春季大会
開催日: 2017/03/13 - 2017/03/15
Nd:YAGレーザーを用いるパルスレーザー堆積法(PLD)を実施して，プラズモニック現象の誘発が期待される金属窒化物の成膜を検討している．PLDは，クリーンな成膜環境，ターゲットと同様な化学組成の成膜が可能，高速成膜，といった特長を有する．サブ波長サイズの金属-誘電体-金属構造の創成を目指して，①代替プラズモニック貴金属材料として注目される窒化チタン(TiN)，②誘電体層として挟み込む窒化アルミニウム(AlN)，PLD成膜を試行した結果について報告する．
