ナノピペットによる静電インクジェットを用いた微細立体造形法の開発

抄録

我々は、金ナノ微粒子を含む熱硬化性インクを充填したナノピペットをノズルとして用いた静電インクジェット法による微細立体造形技術を開発している。本手法においては、これまでに、フォトマスクリペアに適した2次元的なドット堆積やラインパターンの作製について報告してきた。本報告では、3次元的なピラー状立体構造物の作製に対する条件の最適化や機械物性の測定、および、より複雑な立体構造物の作製について報告する。