UV-NILで作製したピラー形状レプリカモールドの転写耐久性向上

中川 元; 日和佐 伸; 谷口 淳

doi:10.11522/pscjspe.2017S.0_101

2017年度精密工学会春季大会

セッションID: B20

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2017S.0_101

会議情報

主催: 公益社団法人精密工学会

会議名: 2017年度精密工学会春季大会

開催日: 2017/03/13 - 2017/03/15

UV-NILで作製したピラー形状レプリカモールドの転写耐久性向上

*中川元, 日和佐伸, 谷口淳

著者情報

キーワード: ユーブイニル, レプリカモールド, 離型剤フリー, 繰り返し転写

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抄録

UV照射により微細なパターンを転写する技術に、UV-NIL（ナノインプリントリソグラフィ）がある。UV-NILによりピラー形状のレプリカモールドを作製し、このレプリカモールドを用いてUV-NILを行った。このレプリカモールドがどれくらい持つか繰り返しUV-NILを行うことにより耐久性を評価し，転写物にどれくらい欠損があるかエラー率を測定した．転写樹脂の離型成分を添加することでレプリカモールドの耐久性を向上させ，エラー率を低下させた．

責任著者(Corresponding author)

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