単結晶サファイアウエハの脆性-延性モード研削の評価に関する研究

菅野 直; 山崎 直樹; 周 立波; 清水 淳; 小貫 哲平; 尾嶌 裕隆; 金安 充

doi:10.11522/pscjspe.2017S.0_137

2017年度精密工学会春季大会

セッションID: B73

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2017S.0_137

会議情報

主催: 公益社団法人精密工学会

会議名: 2017年度精密工学会春季大会

開催日: 2017/03/13 - 2017/03/15

単結晶サファイアウエハの脆性-延性モード研削の評価に関する研究

*菅野直, 山崎直樹, 周立波, 清水淳, 小貫哲平, 尾嶌裕隆, 金安充

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キーワード: ダイヤモンド砥石, サファイア, 研削加工

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抄録

加工表面の品質は，一般に外観や仕上げ面粗さを用いて評価されるが，単結晶サファイアウエハの加工表面の特徴を正確に表すまでには至っていない．本研究では，ウエハの研削面トポグラフィから脆性―延性の加工モードの判別を定量的に行うために，新しい評価式パラメータを提案し，仕上げ面粗さと併用することにより研削表面性状を正しく評するとともに，加工条件との相関関係を調査した．

責任著者(Corresponding author)

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