圧電振動と静電吸着によるマルチスライダ式リニアアクチュエータの検討

抄録

筆者らはレール振動と同期した静電吸着により複数のスライダを独立に駆動するリニアアクチュエータを提案している．これまでの研究でボイスコイルモータを加振源とした装置で原理の検証を行っているが，本研究ではアクチュエータの小型化を実現するために，圧電素子を利用した試作機を製作した．kHzオーダの振動周波数で，複数のスライダの独立した動作を実現できることを確認した．