精密工学会学術講演会講演論文集
2017年度精密工学会春季大会
セッションID: C22
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多相空気流を用いた薄板の非接触搬送法(第2報)
双方向への搬送
*古谷 克司中村 祐介瓜田 明
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抄録
ガラス基板や半導体ウエハを清浄に保ちつつ搬送するためには,非接触搬送法が必要となる.そこで本研究では,多相の空気流路から空気を吐出・吸引することで被搬送物をわずかに傾けるとともに,空気流を裏面に当てることで駆動力を発生させる.被搬送物の位置に応じて空気流を与えるパターンをシフトすることで,移動している被搬送物に制動力を与えることや,双方向搬送が可能であった.
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© 2017 公益社団法人 精密工学会
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