扁平型超音波モータの開発とリンク機構への応用に関する研究

抄録

近年，微小な機構を持つマイクロマシンが様々な分野で研究されており，高トルクかつ小型のアクチュエータが必要とされている．そこで，本研究ではマイクロ超音波モータを用いるシリアルリンク機構を提案する．超音波モータの性能を発揮するため小型予圧機構を開発し，それらを用いたリンク機構を開発する．開発した予圧機構を用いた結果30[μN・m]のトルクを発揮し，リンク機構が動作することを確認した．