予圧独立制御型超音波リニアモータに関する基礎的研究

抄録

従来のリニア型超音波モータは、2方向の振動を共振駆動で励振し重ね合わせるため、共振周波数の一致を必要とする。これは設計や調整を困難にするばかりか、ハイパワー出力により共振周波数が一致しなくなる。また、駆動力制御と予圧制御に同一の圧電体を用い、それぞれ適した特性が発揮できない。本研究では、前者にはランジュバン振動子を共振で、後者には積層圧電素子を非共振で用いる。基本的特性を測定し駆動原理を確認した。