光コムパルス干渉計を用いた三次元測定機の高精度検査手法（第1報）

ポータブル干渉計の高精度化

抄録

三次元測定機は機械部品の三次元形状等を測定するために産業で広く利用されており，その性能は定期的に検査される必要がある．従来はブロックゲージなどによりこの検査を行っていたが，製造や管理などの面で問題を抱えていた．そこで我々は，光コムパルス干渉計を用いて高速かつ高精度に三次元測定機を検査する手法を確立することを目的とする．本発表では，干渉計の高精度化の際に重要となる問題について検討した結果を報告する．