微空間での熱収支を利用した平滑面欠陥検出に関する研究

生成熱収支場による欠陥検出可能性の実験的検討

抄録

マイクロメートルサイズの熱検知素子を，測定対象の平滑面に近接することで創成する微空間での熱収支変化を検知することで，平滑面上の微小欠陥の存在を検出する手法を提案している．本報では，熱検知素子と平滑面の間に生成した熱収支場による非接触での欠陥検出の可能性を，プロトタイプ熱検知素子を用いて実験的に検討した結果について報告する．