レーザダイオード正弦波周波数変調変位計測干渉計における強度変調の影響

抄録

本研究室では、変位計測干渉計の光源としてレーザダイオード（LD）を選び、その注入電流を正弦波状に変調して、LD周波数を正弦波状に変調する手法を提案している。この方法では、干渉計信号に含まれる高調波成分よりリサージュダイアグラムを描き変位を決定している。しかし、変調電流の変調振幅を大きくすると強度変調が現れる。本報では、LDに含まれる強度変調の影響を理論的・実験的に考察する。