極小径光ファイバプローブを用いた微細三次元形状精度測定システムの開発

光学系の改良

抄録

微細金型や半導体，超精密機器，光通信機器，MEMSなどの微細加工技術の進歩に伴い，微細形状を測定する重要性は増加している．そこで，極小径の光ファイバプローブを用いることによる低測定力で高精度な測定システムの開発を目的とする．本報では，測定領域の拡大を目的とした光学系の改良について述べる．