光放射圧プローブを用いた表面微細形状の評価技術に関する研究（第5報） イメージングの高コントラスト化

山口 悠希; 道畑 正岐; 水谷 康弘; 高谷 裕浩

doi:10.11522/pscjspe.2017S.0_271

2017年度精密工学会春季大会

セッションID: D32

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2017S.0_271

会議情報

主催: 公益社団法人精密工学会

会議名: 2017年度精密工学会春季大会

開催日: 2017/03/13 - 2017/03/15

光放射圧プローブを用いた表面微細形状の評価技術に関する研究（第5報）

イメージングの高コントラスト化

*山口悠希, 道畑正岐, 水谷康弘, 高谷裕浩

著者情報

キーワード: マイクロ球, レーザトラッピング, 表面微細形状, プローブ, イメージング

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抄録

レーザトラッピングを用いた三次元幾何形状と表面微細形状のハイブリッド計測を提案している．本手法ではレーザで捕捉したガラスマイクロ球を振動させ，位置検出のプローブとして利用する．また捕捉球のレンズ効果により試料表面をイメージングする．しかし球レンズでは表面の散乱光により，像のコントラスト低下が著しい．そこで本報では高コントラスト化について検討し，照明の最適化が有効であることを明らかにした．

責任著者(Corresponding author)

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