ジャイロを用いた高精度形状評価（第8報） 近似値を用いない角度導出

久米 達哉; 佐藤 政則; 諏訪田 剛; 古川 和朗; 奥山 栄樹

doi:10.11522/pscjspe.2017S.0_293

2017年度精密工学会春季大会

セッションID: D61

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2017S.0_293

会議情報

主催: 公益社団法人精密工学会

会議名: 2017年度精密工学会春季大会

開催日: 2017/03/13 - 2017/03/15

ジャイロを用いた高精度形状評価（第8報）

近似値を用いない角度導出

*久米達哉, 佐藤政則, 諏訪田剛, 古川和朗, 奥山栄樹

著者情報

キーワード: 形状評価, ジャイロ, レートオフセット, ランダムウォーク, 反転測定, 厳密式

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抄録

我々は，角度検出器を用いた形状評価において，ジャイロを用いる方法を検討し，その角度検出軸と直交する軸周りに回転させたジャイロの角度信号を用いることで，ジャイロによる角度検出で問題となる，角速度オフセットやスケールファクターが除去できることを示した．本報告では，当該方法の角度導出過程において新たに考案した，近似値を用いない角度導出法と，シミュレーションに基づく当該角度導出法の評価について述べる．

責任著者(Corresponding author)

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