大型非球面形状のナノメートル測定 オートコリメータ自己校正の実験的検証

郭 翔; 尾上 太郎; 高橋 哲; 高増 潔; 近藤 余範; 尾藤 洋一

doi:10.11522/pscjspe.2017S.0_295

2017年度精密工学会春季大会

セッションID: D62

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2017S.0_295

会議情報

主催: 公益社団法人精密工学会

会議名: 2017年度精密工学会春季大会

開催日: 2017/03/13 - 2017/03/15

大型非球面形状のナノメートル測定

オートコリメータ自己校正の実験的検証

*郭翔, 尾上太郎, 高橋哲, 高増潔, 近藤余範, 尾藤洋一

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キーワード: ナノメートル計測

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抄録

近年，大型の非球面形状のミラーやレンズの需要が高まっている．しかしこれらの表面形状の高糟度な測定方法は確立されていない．我々はオートコリメータを走査させながら大型の非球面形状を測定する手法についての研究を行ってきた．本研究で，オートコリメータを自己校正した場合の測定精度について，実験的に検証を行った．

責任著者(Corresponding author)

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