角度補正付き逐次多点法を用いた走査型平面形状測定（第4報） ノイズレベル及びセンサ間感度差の影響の検討

橋口 拓也; 清水 浩貴; 田丸 雄摩

doi:10.11522/pscjspe.2017S.0_297

2017年度精密工学会春季大会

セッションID: D63

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2017S.0_297

会議情報

主催: 公益社団法人精密工学会

会議名: 2017年度精密工学会春季大会

開催日: 2017/03/13 - 2017/03/15

角度補正付き逐次多点法を用いた走査型平面形状測定（第4報）

ノイズレベル及びセンサ間感度差の影響の検討

*橋口拓也, 清水浩貴, 田丸雄摩

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キーワード: 走査型測定, 多点法, 平面度, 真直度, 変位センサ

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抄録

本研究は，広範囲の平面形状測定法として逐次多点法に基づく走査型測定法を提案するものである．本報では，4本の変位センサを正方配置し，2軸の角度補正を併用する測定法について検討した．まず，センサのノイズレベルと測定結果の不確かさの関係をモンテカルロシミュレーションにより確認した．次に単一のセンサに感度差を与え，それに起因する誤差が累積することで測定結果に与える影響を確認した．

責任著者(Corresponding author)

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