マルチ角度センサを用いた小型非球面の形状測定

第2報　基礎実験と精度評価

抄録

非球面は近年多くの工業製品に用いられており、その表面形状を精密に計測することは需要を増してきている。現在非球面形状を計測する技術として、新たにマルチビームによる角度センサを用いて計測する手法を提案している。このセンサを使用することで、非球面のナノメートルのオーダで精密に計測することを目標とする。本報では、計測理論の詳細な解析と基礎実験について報告する。