WGM共振を利用した微小球の直径計測（第7報） 共振波長の精密計測

儲 博懐; 道畑 正岐; 林 晃平; 高増 潔; 高橋 哲

doi:10.11522/pscjspe.2017S.0_307

2017年度精密工学会春季大会

セッションID: D69

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2017S.0_307

会議情報

主催: 公益社団法人精密工学会

会議名: 2017年度精密工学会春季大会

開催日: 2017/03/13 - 2017/03/15

WGM共振を利用した微小球の直径計測（第7報）

共振波長の精密計測

*儲博懐, 道畑正岐, 林晃平, 高増潔, 高橋哲

著者情報

キーワード: WGM, 直径計測, 微小球, 屈折率補正

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抄録

三次元座標測定機の精度につながる形状標準として用いられるマイクロ球の直径を10nm以下の精度で計測する技術確立を目的とし，WGM共振という球の内部で特有に発現する光共振現象に着目し，そのWGM共振波長を測定することでマイクロ球直径を測定する．本報では，偏光やモード数の異なる複数のWGM波長を用いて球の屈折率を補正する手法を実験的に検証する．

責任著者(Corresponding author)

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