多極微小磁石を用いた2自由度マイクロアクチュエータ

田中 駿也; 吾妻 範栄; 藤原 良元; 進士 忠彦; 鈴木 健一; 門田 祥悟

doi:10.11522/pscjspe.2017S.0_309

2017年度精密工学会春季大会

セッションID: D73

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2017S.0_309

会議情報

主催: 公益社団法人精密工学会

会議名: 2017年度精密工学会春季大会

開催日: 2017/03/13 - 2017/03/15

多極微小磁石を用いた2自由度マイクロアクチュエータ

*田中駿也, 吾妻範栄, 藤原良元, 進士忠彦, 鈴木健一, 門田祥悟

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キーワード: 微小電気機械システム, 多極着磁, ネオジム磁石, マイクロアクチュエータ

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抄録

ＭＥＭＳ応用を念頭に，縦横数ミリメートル，厚みサブミリメートルの多極磁石を使った多自由度アクチュエータの実現を目指している．ＭＥＭＳプロセスで利用が可能な縦横の寸法に対して厚みが小さい膜磁石では，微細多極着磁することで，反磁界の影響を低減し，大きな磁束を発生できるため，高出力密度化が可能となる．本報では，市松模様形状に微細多極着磁されたネオジム磁石と弾性ヒンジを用いた２自由度マイクロアクチュエータの試作，変位特性の評価を行ったので報告する．

責任著者(Corresponding author)

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