傾斜探針型測長AFMによる線幅計測における実効探針幅の補正

木津 良祐; 三隅 伊知子; 平井 亜紀子; 木下 和人; 権太 聡

doi:10.11522/pscjspe.2017S.0_305

2017年度精密工学会春季大会

セッションID: D68

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2017S.0_305

会議情報

主催: 公益社団法人精密工学会

会議名: 2017年度精密工学会春季大会

開催日: 2017/03/13 - 2017/03/15

傾斜探針型測長AFMによる線幅計測における実効探針幅の補正

*木津良祐, 三隅伊知子, 平井亜紀子, 木下和人, 権太聡

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キーワード: AFM, 線幅

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抄録

我々はこれまでに傾斜探針型測長AFMによるSiラインパターンの線幅計測技術の開発を行ってきた. 測定結果のAFM像から線幅を求めると, カンチレバーの探針形状が畳み込まれている分（実効探針幅）だけ線幅が大きく求まるため, 実効探針幅の補正をする必要がある. 本報告では, TEMによって高精度に校正された線幅標準試料を利用した実効探針幅の推定およびその補正を行った結果を報告する.

責任著者(Corresponding author)

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