リニアボールガイドの予圧（ボールサイズ）とリテーナ有無が微小運動に及ぼす影響

抄録

リニアボールガイドの設計パラメータ（転動体予圧・潤滑状態・リテーナの有無）を変化させる。ことのきの非線形ばね特性、象限突起、ステップ応答などのリニアボールガイドの基本的特性の変化についてまとめた結果を報告する。また、この結果より、ナノメータの位置決め制御および輪郭制御にリニアボールガイドを用いる場合、それぞれの条件に最適なリニアボールガイドの特性が明確となる。