精密工学会学術講演会講演論文集
2017年度精密工学会春季大会
セッションID: D82
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弾性案内-電磁力駆動によるミリストローク超精密位置決め機構
第6報,4軸機構の構成と表面微細形状測定システムへの応用
*深田 茂生桐原 拓也児玉 彰大
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抄録
前報までに,一体化ヒンジ機構を用いたX-Y-Yawの3自由度平面位置決め機構を構成し,ナノメートルレベルの位置決め分解能を持つことを確認した.本報では,本機構を実際の加工・測定システムに展開するために,平行板ばね構造によるZ軸機構を新たに製作・統合して4軸位置決め機構を構成した.また,Z軸機構先端に表面検出用微小変位プローブを設置して表面微細形状測定システムを実現し,性能の確認を行っている.
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© 2017 公益社団法人 精密工学会
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