弾性案内-電磁力駆動によるミリストローク超精密位置決め機構

第６報，4軸機構の構成と表面微細形状測定システムへの応用

抄録

前報までに，一体化ヒンジ機構を用いたX-Y-Yawの３自由度平面位置決め機構を構成し，ナノメートルレベルの位置決め分解能を持つことを確認した．本報では，本機構を実際の加工・測定システムに展開するために，平行板ばね構造によるZ軸機構を新たに製作・統合して4軸位置決め機構を構成した．また，Z軸機構先端に表面検出用微小変位プローブを設置して表面微細形状測定システムを実現し，性能の確認を行っている．