圧電素子を用いたマイクロロボットの位置決め精度

抄録

筆者らの研究室では、微小動作が可能なマイクロロボットを製作している。ロボットは３個の電磁石と３個の圧電素子を組み合わせており、インチワームの原理を利用した多自由度微動位置決め装置としての応用を目指している。このロボットは外乱の影響により目標の方向と異なる方向で移動するという問題点があるため、移動中に実際の変位量を元に信号を変化させることで位置決め精度の改善を行ったので報告する。