開口数がピコ秒レーザによるガラスの微細溶融溶接特性に及ぼす影響

抄録

ガラス内部に対物レンズを用いてピコ秒パルスレーザ光を集光した際，レンズの開口数が溶融領域形成に及ぼす影響について検討した．開口数が大きいほど吸収サイクル間隔が短く，アスペクト比の小さな溶融形状が得られた．また，各開口数において溶融領域を形成し，開口数が溶融特性に与える影響について実験的に調べた．曲げ試験を行った結果，開口数が大きいほどガラス内部に発生する亀裂が少なく，高い曲げ応力が得られた．