超短パルスレーザによるガラスの穴あけ加工における応力波のクラック生成への影響

抄録

超短パルスレーザによるガラスの穴あけ加工では熱影響が小さく微細加工が可能である一方で，加工時にクラックが形成されることが課題である．クラック生成の原因の一つとして，材料除去時にガラス内部に進行する応力波が考えられる．本研究ではシャドウグラフ法により応力波の挙動を観察した．さらに，有限要素解析により応力波が材料内部に形成する応力分布を評価し，応力波がクラック生成に与える影響を議論した．