精密工学会学術講演会講演論文集
2017年度精密工学会春季大会
セッションID: F36
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廃シリコン粉末へのレーザ照射による単結晶シリコンマイクロピラーの形成
*野口 淳閻 紀旺寺師 吉建
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抄録
銅箔上へ塗布された廃シリコン粉末へのナノ秒パルスレーザ照射により,単結晶構造をもつシリコンマイクロピラーの形成に成功した.マイクロピラーのサイズや形状はレーザ照射条件により制御することができる.また,形成したマイクロピラーシートはリチウムイオン電池の負極として良好な電気的特性を示し,その特異な構造から,充放電時に生じるシリコンの体積変化による電極間の影響を緩和することが可能である.
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© 2017 公益社団法人 精密工学会
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