被削材の脆性的挙動が加工特性におよぼす影響

源馬 正也; 林 敬徳; 劉 文龍; 坂本 智; 近藤 康雄; 山口 顕司; 八高 隆雄

doi:10.11522/pscjspe.2017S.0_471

2017年度精密工学会春季大会

セッションID: F67

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2017S.0_471

会議情報

主催: 公益社団法人精密工学会

会議名: 2017年度精密工学会春季大会

開催日: 2017/03/13 - 2017/03/15

被削材の脆性的挙動が加工特性におよぼす影響

*源馬正也, 林敬徳, 劉文龍, 坂本智, 近藤康雄, 山口顕司, 八高隆雄

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キーワード: 硬脆材料, 研磨紙, ワイヤ工具, 加工特性

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抄録

硬脆材料から薄いウェハを切り出す場合，ダイヤモンド電着ワイヤ工具によるスライシングが多用されているが，加工に伴って生じる微小き裂の進展は加工効率や加工精度に大きく影響をおよぼす．前報では，ダイヤモンド電着ワイヤ工具の摩耗特性を含めた加工特性におよぼす影響ついて明らかにした．本報では，ダイヤモンドペーパによる研磨試験を行い，被削材の研磨特性と材料特性との関係について検討した結果を報告する．

責任著者(Corresponding author)

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