細線工具による硬脆材料の基礎的な加工特性

林 敬徳; 源馬 正也; 劉 文龍; 坂本 智; 近藤 康雄; 山口 顕司; 八高 隆雄

doi:10.11522/pscjspe.2017S.0_473

2017年度精密工学会春季大会

セッションID: F68

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2017S.0_473

会議情報

主催: 公益社団法人精密工学会

会議名: 2017年度精密工学会春季大会

開催日: 2017/03/13 - 2017/03/15

細線工具による硬脆材料の基礎的な加工特性

*林敬徳, 源馬正也, 劉文龍, 坂本智, 近藤康雄, 山口顕司, 八高隆雄

著者情報

キーワード: ワイヤ工具, 硬脆材料, 微小溝加工, 被削性

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抄録

現状，ウェハ体積と同等以上の体積をカーフロス（切溝損失）として排出している．カーフロスを減少させる技術は，単に製造コストを圧縮できるだけではなく，希少材料を有効利用することにもつながり，省資源の観点からもこれからのウェハ製造業にとって重要な課題の一つである．本報では，カーフロスの大幅な減少を目指して，細線ワイヤ工具による硬脆材料の基礎的な加工特性について検討した結果を報告する．

責任著者(Corresponding author)

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