シリコンインゴットのスライシング加工においてシリコンの結晶方位が切断抵抗に与える影響

抄録

太陽電池の製造において、スライシング加工コストが製造コストに占める割合は約35％と高く、コスト削減のために加工能率の向上が求められている。本研究では面方位が切断抵抗に与える影響を調べ、切断抵抗が小さくなる条件を見出すことでコスト削減を目指している。