樹脂コーティングワイヤ方式を用いたマルチワイヤソーによるガラスの延性モード加工

抄録

近年，マルチワイヤソーによるダイヤモンドスラリーと樹脂コーティングワイヤを用いた加工方式が報告されている．本加工方式を用いることで，シリコンやSiCの延性モード加工が可能であることが明らかとなっている．そこで，本研究では硬脆材料の一つであるガラスに対しての延性モード加工の可能性を確認するための切断実験を行った．