位相補償特性の計算方法

抄録

表面粗さでの計測データとローパスフィルタを畳み込んで得られた出力データにそれぞれ離散的フーリエ変換を行い,実数部と虚数部を用いて位相補償特性を計算する方法を開発しました.実験結果から提案手法が正しいことが確認できました.