波長シフト干渉計を用いる昇温粗面物体の3次元形状計測

安達 正明

doi:10.11522/pscjspe.2017S.0_503

2017年度精密工学会春季大会

セッションID: G36

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2017S.0_503

会議情報

主催: 公益社団法人精密工学会

会議名: 2017年度精密工学会春季大会

開催日: 2017/03/13 - 2017/03/15

波長シフト干渉計を用いる昇温粗面物体の3次元形状計測

*安達正明

著者情報

キーワード: 干渉計測, 位相抽出, 形状計測, 粗面

会議録・要旨集フリー

詳細

抄録

激しい光路差変動の残る状況下で使える，波長シフト干渉計を用いる粗面の３次元形状計測法を開発している．これまで高温のドライヤー風を吹き付ける状況下での形状計測結果を報告してきた．今回は，通電し温度が上がりつつあるハンダごての形状を風を吹き付けないで測定した．干渉像の位相抽出のための位相シフト量計算を行う空間サイズの効果が確認できた．

責任著者(Corresponding author)

J-STAGEへの登録はこちら（無料）